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GMP車(chē)間凈化工程氣流流形的檢測步驟

更新時(shí)間:2016-06-20      點(diǎn)擊次數:2833
   GMP車(chē)間凈化工程潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之凈化車(chē)間潔凈室(CleanRoom),亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照慣例,GMP車(chē)間凈化工程無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的響,所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
  GMP車(chē)間凈化工程氣流流形的檢測應按以下步驟進(jìn)行:
  1垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各一個(gè),以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一個(gè);水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區高度水平面各一個(gè),以及距送、回風(fēng)墻面0.5和房間中心處等3個(gè)橫剖面,所有面上的測點(diǎn)間距均為0.2m~1m;
  2)亂流潔凈室選擇通過(guò)代表性送風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區高度的水平面各一個(gè),剖面上的測點(diǎn)間距為0.2m~0.5m,水平面上測點(diǎn)間距為0.5m~1m。兩個(gè)風(fēng)口之間的中線(xiàn)上應有測點(diǎn)。
  2測定方法:用發(fā)煙器或懸掛單絲線(xiàn)的方法逐點(diǎn)觀(guān)察和記錄氣流流向,并可用量角器量出角度,發(fā)煙源可用超聲波霧化(0.5um~50um水霧)的去離子(DI)水、噴射方法生成的乙醇或二醇、固態(tài)二氧化碳(干冰)等,在高強度光源下示蹤。在確保對人和物無(wú)傷害時(shí)可以四氯化鈦(TiCl4)作示蹤粒子。
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